6.5～14μm红外长波通滤光片正面膜系的研制

采用了规整膜系作为6．5-14μm红外长波通滤光片正面膜系的初始膜系，针对规整膜系中存在较大通带波纹的现象，利用Macleod光学薄膜分析软件有选择地对部分膜层进行优化。根据优化后的膜系设计结果，采用热电阻真空蒸发镀膜工艺镀制。光谱测试表明，膜系在6．5～14μm工作波段的通带波纹平坦，平均透过率达到88．5％，在3～5．5μm截止范围内Tmax〈0．2％，并具有很好的截止带边缘陡度。该膜系具有工艺简单，膜厚监控易于操作的特点，适用于工业大规模生产。