PECVDSiN及其在GaAsMESFET中的应用第Ⅱ部分:PECVDSiN的性质及其对GaAs器件性能的影响 |
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摘 要: | PECVDSiN及其在GaAsMESFET中的应用第Ⅱ部分:PECVDSiN的性质及其对GaAs器件性能的影响罗海云(电子部第13研究所,石家庄,050051)PECVDSiNandItsApplicationinGaAsMESFETPartⅡ:Pr...
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PECVD SiN and Its Application in GaAs MESFET Part Ⅱ:Property of PECVD SiN and Its Effect on GaAs Device Performance |
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