| 基于RBF网络的半导体扩散炉温度控制建模研究 |
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| 引用本文： | 蔡兵,HU Rong-yu,王培元,LIU Chuan-qing.基于RBF网络的半导体扩散炉温度控制建模研究[J].微计算机信息,2008,24(22). |
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| 作者姓名： | 蔡兵 HU Rong-yu 王培元 LIU Chuan-qing |
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| 摘 要： | 针对半导体扩散炉温度控制问题,提出采用RBF神经网络控制方法.RBF神经网络采用3-8-3结构.建模表明,此RBF网络数学模型具有良好的控制品质.
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| 关 键 词： | 半导体扩散炉 RBF神经网络 PID温度控制 |
Study on Semiconductor Diffuse Furnace Temperature Control Mondeling Based on RBF NN |
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| CAI Bing,HU Rong-yu,Wang Pei-yuan,LIU Chuan-qing.Study on Semiconductor Diffuse Furnace Temperature Control Mondeling Based on RBF NN[J].Control & Automation,2008,24(22). |
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| Authors: | CAI Bing HU Rong-yu Wang Pei-yuan LIU Chuan-qing |
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