Präzisionsverschleißmessung an dünnen Schichten als Mittel zur Qualitätssicherung und Schichtcharakterisierung

Unterüberschrift (Übersetzung) Dünne Schichten finden zunehmend Verbreitung in technisch anspruchsvollen Anwendungsgebieten. Die Qualitätssicherung von dünnen Schichten erfordert deshalb hochwertige Prüfverfahren. Das Verfahren sollte zu quantitativen Ergebnissen führen, damit eine objektive Bewertung möglich ist. Am Fraunhofer Institut für Schicht‐ und Oberflächentechnik wurde das Kalottenschliffverfahren (DIN 1071 Teil 2) zu einem Präzisionsverschleißtester für dünne Schichten weiterentwickelt. Diese Methode erlaubt es, aus Werkstoffoberflächen ein definiertes und reproduzierbares Materialvolumen auszureiben. Diese Materialkenngröße (Volumenverschleiß) charakterisiert physikalische und chemische Materialeigenschaften und kann damit zur Qualitätskontrolle und Werkstoffentwicklung herangezogen werden. Der Beitrag zeigt Entwicklungschritte, Ergebnisse und Anwendungen dieser Prüfmethode auf.