微光刻材料标准化研究

为充分发挥好标准支撑、规范、引领产业发展的作用，开展微光刻材料标准的梳理分析工作，对国内现有微光刻材料标准按基础通用、产品、方法进行分类，详细介绍相关标准的具体内容、使用范围等方面，并与国外相关标准进行对比，综合分析我国微光刻材料标准在掩模基片和抗蚀剂两大领域的优势和短板，为未来我国微光刻材料标准的发展提供参考。