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在Si（100）基片上生长超薄3C—SiC外延层

引用本文：	仪仡.在Si（100）基片上生长超薄3C—SiC外延层[J].电子材料快报,2000(3):11-12.

作者姓名：	仪仡

摘要：
关键词：	硅基片生长碳化硅外延层生长
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