图像拼接技术在台阶高度样块评定中的应用

研究了目前国际上通用的图像拼接技术,针对白光干涉方法测量台阶高度样块图像视场区域小的问题,提出了一种使用台阶边缘作为匹配点、基于三维点集的台阶样块图像拼接方案,实现了台阶样块图像三维自动拼接,满足了按照国际通用的单线评价法对台阶高度进行评定的要求。使用美国VLSI公司的有证台阶高度标准样块对软件拼接准确度进行了验证。验证结果表明,最大差值为1.3 nm,偏差在VLSI给出的测量不确定度范围之内,显示出该图像拼接技术的有效性和高准确度。