| 微观粘着测试技术研究进展 |
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| 引用本文： | 郑华军,刘莹,周顺斌.微观粘着测试技术研究进展[J].润滑与密封,2008,33(6):99-103. |
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| 作者姓名： | 郑华军 刘莹 周顺斌 |
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| 作者单位： | 南昌大学机电工程学院,江西南昌,330031;南昌大学机电工程学院,江西南昌,330031;南昌大学机电工程学院,江西南昌,330031 |
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| 基金项目： | 湖北省现代制造质量工程重点实验室基金
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江西省工业科技攻关项目 |
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| 摘 要： | 微构件粘附是造成微机电系统(MEMS)失效的主要原因,也是导致MEMS性能不稳定难以走向市场的关键所在.因此,对于MEMS粘着问题的研究,微观粘着测试技术显得极为重要.综述了国内外微观粘着测试技术的研究进展和现状,介绍了基于应变片、光学检测、电容式传感器、压电式力传感器和分析天平等原理的粘着测试装置,分析了它们的工作原理和特点.
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| 关 键 词： | 微观粘着 粘着力 粘着测试装置 测试技术 |
| 文章编号： | 0254-0150(2008)6-099-5 |
| 修稿时间： | 2008年1月23日 |
Progress of Micro Adhesion Testing Technology |
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| Zheng Huajun,Liu Ying,Zhou Shunbin.Progress of Micro Adhesion Testing Technology[J].Lubrication Engineering,2008,33(6):99-103. |
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| Authors: | Zheng Huajun Liu Ying Zhou Shunbin |
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| Abstract: | |
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