| 微机械陀螺的误差抑制电路研究 |
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| 作者姓名： | 周志广 常洪龙 申强 谢建兵 苑伟政 |
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| 作者单位： | 西北工业大学微/纳米陕西省重点实验室,西安,710072;西北工业大学微/纳米陕西省重点实验室,西安,710072;西北工业大学微/纳米陕西省重点实验室,西安,710072;西北工业大学微/纳米陕西省重点实验室,西安,710072;西北工业大学微/纳米陕西省重点实验室,西安,710072 |
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| 基金项目： | 国家863计划项目资助,航空基金项目资助 |
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| 摘 要： | 分析了微机械陀螺的正交误差和同相误差的来源及特点,提出了利用静电力反馈控制来抑制误差的技术方案.该方案利用反馈静电力在检测模态上产生等效电刚度和电阻尼,从而影响陀螺仪驱动和检测模态之间的刚度和阻尼耦合系数,进而抑制误差.为实现误差抑制设计了带有反馈校正环节的闭环检测电路并完成了仿真,仿真结果表明校正环节能够使系统的幅值和相位裕度达到25 dB和36.5°.对微机械陀螺进行频谱分析和性能测试比较,结果表明闭环检测情况下,误差量较开环测试减小了50%,标度因子的非线性度从2.89%减小到1.47%、带宽增加了15 Hz、零偏稳定性提高了1.3倍.
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| 关 键 词： | 闭环检测电路 误差抑制 反馈控制 校正环节 |
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