| 复合绒面透明导电薄膜研究 |
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| 引用本文： | 朱锋,周祯华,熊绍珍,吴春亚,李洪波,麦耀华,薛俊明,耿新华.复合绒面透明导电薄膜研究[J].太阳能学报,2003,24(3):344-347. |
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| 作者姓名： | 朱锋 周祯华 熊绍珍 吴春亚 李洪波 麦耀华 薛俊明 耿新华 |
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| 作者单位： | 南开大学光电子所,天津,300071 |
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| 基金项目： | 国家科技部重大基础研究项目 (G2 0 0 0 0 2 82 0 3 ,G2 0 0 0 0 2 82 0 2 ) |
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| 摘 要： | 在常规非晶硅电池绒面SnO2衬底上，采用Zn：Al重量比为5％的金属靶直流反应磁控溅射沉积ZnO，构成复合绒面SnO2／ZnO透明导电膜。控制适当ZnO厚度，既能保持SnO2绒面效果，又可阻挡H离子对SnO2的还原作用，可作为微晶硅电池的前电极。文中对ZnO沉积条件以及复合膜的形貌、电光性能进行了讨论。
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| 关 键 词： | SnO2 复合绒面膜 直流反应磁控溅射 透明导电薄膜 非晶硅电池 |
| 文章编号： | 0254-0096(2003)03-0344-04 |
| 修稿时间： | 2002年3月12日 |
STUDY OF MULTIPLE TEXTURED TRANSPARENT CONDUCTIVE FILMS |
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| Zhu Feng,Zhou Zhenhua,Xiong Shaozhen,Wu Chunya,Li Hongbo,Mai Yaohua,Xue Junming,Geng Xinhua.STUDY OF MULTIPLE TEXTURED TRANSPARENT CONDUCTIVE FILMS[J].Acta Energiae Solaris Sinica,2003,24(3):344-347. |
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| Authors: | Zhu Feng Zhou Zhenhua Xiong Shaozhen Wu Chunya Li Hongbo Mai Yaohua Xue Junming Geng Xinhua |
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| Abstract: | Reactive DC magnetron sputtering target of Zn:Al(5%,wt%) was adopted to prepare a proper thin,transparent conductive layer of ZnO on general textured SnO 2 of amorphous silicon cells to form ZnO/SnO 2 multiple textured film,which not only retains the texture of SnO 2,but also obstructs deoxidizing SnO 2 by Hions.It would be suitable for the top electrode materials of microcrystalline Silicon solar cells. The deposition conditions of ZnO,structure topography of the multiple film and the electro optics performance were discussed. |
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| Keywords: | ZnO 2 Reactive DC magnetron sputtering ZnO/SnO 2 multiple textured film |
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