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| ECR-CVD法制备BN薄膜 | |
| 作者姓名： | 张生俊 崔贲涛 王波 严辉 陈光华 |
| 作者单位： | 北京工业大学材料学院,北京,100022 |
| 摘 要： | cBN薄膜的CVD制备是一个很受关注的课题.本文研究了ECR-CVD系统的等离子体特性,并在Si(100)衬底上进行了BN薄膜的生长实验,初步获得了cBN含量约为23.8%的BN薄膜;分析了H2在CVD生长cBN中的影响. |
| 关 键 词： | 电子回旋共振 cBN 薄膜 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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