电化学沉积铜铟镓硒薄膜中溶液温度的影响 |
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引用本文: | 曹洁,曲胜春,刘孔,王占国.电化学沉积铜铟镓硒薄膜中溶液温度的影响[J].半导体学报,2010,31(8):083003-4. |
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作者姓名: | 曹洁 曲胜春 刘孔 王占国 |
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基金项目: | National Basic Research Program of China (973 Program) under Grant No. 2010CB933800 National Natural Science Foundation of China: 60736034 and 50990064 |
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摘 要: | 摘要:使用电化学沉积技术可低成本制备铜铟镓硒(CIGS)薄膜,并应用于太阳电池。本文研究恒压法电化学沉积中电解液温度对制备CIGS薄膜性能的影响。以柠檬酸钠为缓冲剂,Mo玻璃为衬底,电位恒定为-0.75V,电解液温度分别为20,40,60℃,均得到厚度约为1μm的CIGS薄膜。结果表明以电沉积法成功制备出黄铜矿结构的CIGS多晶薄膜,晶粒均匀,X射线衍射谱表明其组分为CuIn0.7Ga0.3Se2。电解液温度对制备薄膜的质量有显著影响,随着电解液温度升高,CIGS薄膜的结晶性变好,晶粒尺寸呈现增大趋势。电解液温度变化对薄膜组分无明显影响。
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关 键 词: | 关键词:铜铟镓硒 薄膜 光伏电池 电化学沉积 |
修稿时间: | 3/19/2010 2:46:21 PM |
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