| 大口径光学元件的精密检测技术 |
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| 引用本文： | 张蓉竹.大口径光学元件的精密检测技术[J].激光与光电子学进展,2009(6). |
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| 作者姓名： | 张蓉竹 |
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| 作者单位： | 四川大学,电子信息学院,四川,成都,610064 |
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| 摘 要： | 随着光学元件口径的增大,光学系统对精度的要求提高,传统干涉仪检测手段已经不再满足要求.为了提高制造效率,需要适当的在线检测技术和多工段检测手段.结合现阶段系统研制的需要,介绍了子孔径拼接干涉榆测技术、数字刀口检测技术以及红外干涉检测技术,分别对其基本原理和具体应用进行了分析.
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| 关 键 词： | 精密检测 大口径光学元件 子孔径拼接 数字刀口 红外干涉仪 |
Accurate Detection Technique for Optical Elements with Large Aperture |
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| Zhang Rongzhu.Accurate Detection Technique for Optical Elements with Large Aperture[J].Laser & Optoelectronics Progress,2009(6). |
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| Authors: | Zhang Rongzhu |
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