| 金刚石覆镍量对固着磨料研磨蓝宝石性能的影响 |
| |
| 引用本文： | 徐胜,朱永伟,王加顺,左敦稳. 金刚石覆镍量对固着磨料研磨蓝宝石性能的影响[J]. 硅酸盐学报, 2015, 43(4) |
| |
| 作者姓名： | 徐胜 朱永伟 王加顺 左敦稳 |
| |
| 作者单位： | 南京航空航天大学机电学院,南京,210016 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目，中央高校基本科研业务专项资金项目，江苏高校优势学科建设工程项目 |
| |
| 摘 要： | 金刚石磨粒表面镀镍可以增强其与树脂的结合力。通过化学镀的方法在金刚石磨粒表面镀覆一层不同包覆率的Ni-P合金层,并制成了固结磨料研磨垫。采用CP-4型CMP抛光和测试系统,分别对蓝宝石进行粗研和精研加工,探索不同覆镍量对固着磨料研磨蓝宝石性能的影响。结果表明:金刚石磨粒表面镀镍可以改变其微观形貌:在实验范围内,随着金刚石包覆率的增加,摩擦因数、材料去除率和表面粗糙度呈现先增大后减小的趋势,其中粗研在包覆率为50%、精研在包覆率30%达到峰值;声发射信号呈现先减小后增大的趋势,其中粗研在包覆率50%、精研在包覆率30%达到谷值;粗研过程对包覆率的要求高于精研过程。
|
| 关 键 词： | 蓝宝石 镀镍金刚石 固结磨料研磨垫 研磨性能 |
Effect of Diamond Coating Rate on Sapphire Lapping Performance by Fixed Abrasive Pad |
| |
| XU Sheng,ZHU Yongwei,WANG Jiashun,ZUO Dunwen. Effect of Diamond Coating Rate on Sapphire Lapping Performance by Fixed Abrasive Pad[J]. Journal of The Chinese Ceramic Society, 2015, 43(4) |
| |
| Authors: | XU Sheng ZHU Yongwei WANG Jiashun ZUO Dunwen |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | sapphire nickel-plated diamond fixed abrasive pad lapping performance |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
