| 热处理工艺对溶胶-凝胶法制备ZnO:Al薄膜光电性能的影响 |
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| 引用本文： | 彭寿,金良茂,王芸,汤永康,甘治平,王东,石丽芬,单传丽.热处理工艺对溶胶-凝胶法制备ZnO:Al薄膜光电性能的影响[J].硅酸盐学报,2015,43(4). |
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| 作者姓名： | 彭寿 金良茂 王芸 汤永康 甘治平 王东 石丽芬 单传丽 |
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| 作者单位： | 蚌埠玻璃工业设计研究院,浮法玻璃新技术国家重点实验室,安徽蚌埠233000 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法以提拉的方式在普通玻璃基底上制备出ZnO:Al(AZO)薄膜。通过X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜、方块电阻测试仪、Hall效应测试仪、紫外-可见-红外分光光度计研究了薄膜物相、微观结构、光电性能;分析了不同热处理方式对于薄膜光电性能的影响。结果表明:经10次提拉所制备薄膜可见光透过率85%左右。热处理工艺的选择对于提升AZO薄膜的电学性能至关重要,相比于空气气氛和真空下的热处理,采用具有还原性的5%H_2和95%N_2的混合气氛热处理得到了具有最好电学性能的AZO薄膜。在550℃还原气氛下保温60 min得到薄膜方块电阻约为300Ω/□,电阻率约为3.3×10~(-3)Ω·cm。
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| 关 键 词： | 铝掺杂氧化锌薄膜 热处理 光电性能 溶胶-凝胶法 |
Influence of Heat Treatment on Electro-optical Properties of Al-doped ZnO Thin Films Prepared by Sol-Gel Method |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | aluminum doped zinc oxide films heat treatment electro-optical property sol-gel method |
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