| SiO2 8×8阵列波导光栅的研制 |
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| 引用本文： | 李广波,龙文华,贾科淼,唐衍哲,吴亚明,杨建义,王跃林. SiO2 8×8阵列波导光栅的研制[J]. 光电子．激光, 2006, 17(3): 269-273 |
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| 作者姓名： | 李广波 龙文华 贾科淼 唐衍哲 吴亚明 杨建义 王跃林 |
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| 作者单位： | 1. 浙江大学信息与电子工程系,浙江,杭州,310027;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050
2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050 |
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| 基金项目： | 中国科学院资助项目;上海市应用材料科技合作项目;教育部科学技术研究项目 |
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| 摘 要： | 在Si基SiO2材料上设计并制作了中心波长为1.55 μm、通道间隔为0.8 nm的8×8阵列波导光栅(AWG).详细介绍了器件的设计、制作和测试,并对测试结果及工艺误差进行了深入的分析讨论.封装后的测试结果显示,器件的3 dB带宽为0.22 nm;中央通道输入时,最小和最大插入损耗分别为4.01 dB和6.32 dB;边缘通道输入时,最小和最大插入损耗分别为6.24 dB和9.02 dB;对比不同通道输入时输出通道的中心波长,其偏移量低于0.039 nm;器件的通道间串扰小于-25 dB;偏振依赖损耗(PDL)小于0.3 dB.
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| 关 键 词： | 阵列波导光栅(AWG) Si基SiO2 光波导 光波分复用 集成光学 |
| 文章编号： | 1005-0086(2006)03-0269-05 |
| 修稿时间： | 2005-06-09 |
Design and Fabrication of 8×8 Silica-Based Arrayed Waveguide Grating |
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| LI Guang-bo,LONG Wen-hu,JIA Ke-miao,TANG Yan-zhe,WU Ya-ming,YANG Jian-yi,WANG Yue-lin. Design and Fabrication of 8×8 Silica-Based Arrayed Waveguide Grating[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2006, 17(3): 269-273 |
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| Authors: | LI Guang-bo LONG Wen-hu JIA Ke-miao TANG Yan-zhe WU Ya-ming YANG Jian-yi WANG Yue-lin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | arrayed waveguide grating(AWG) silica-on-silicon optical waveguide optical multiplexer integrated optics |
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