| 纳秒激光辐照对类金刚石薄膜的损伤及改性 |
| |
| 引用本文： | 唐多昌,李晓红,袁春华,杨宏道,李国强. 纳秒激光辐照对类金刚石薄膜的损伤及改性[J]. 光电工程, 2010, 37(7). DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2010.07.025 |
| |
| 作者姓名： | 唐多昌 李晓红 袁春华 杨宏道 李国强 |
| |
| 作者单位： | 西南科技大学理学院激光与光电子实验室;极端条件物质特性实验室,四川,绵阳,621010 |
| |
| 基金项目： | 四川省教育厅青年基金，西南科技大学博士研究基金 |
| |
| 摘 要： | 利用Nd:YAG纳秒激光(波长分别为355、532和1 064 nm)辐照由电子束蒸发技术制备的类金刚石(DLC)薄膜,通过光学显微镜、光学轮廓仪和拉曼光谱仪等分析了辐照后的薄膜样品,结果表明:不同波长的单脉冲激光辐照时,DLC膜的激光损伤阈值不同;同一波长的多脉冲激光辐照时,损伤阈值低于单脉冲辐照阈值;脉冲激光辐照对DLC膜具有改性作用,受辐照薄膜区域表层发生了石墨化、剥落和气化效应,致使DLC膜表面出现了隆起和弹坑,隆起高度和弹坑深度与激光能量密度大小和脉冲个数有关.
|
| 关 键 词： | 类金刚石薄膜 激光辐照 激光损伤 激光改性 |
Nanosecond Laser Damage and Modification on Diamond-like Carbon Films |
| |
| TANG Duo-chang,LI Xiao-hong,YUAN Chun-hua,YANG Hong-dao,LI Guo-qiang. Nanosecond Laser Damage and Modification on Diamond-like Carbon Films[J]. Opto-Electronic Engineering, 2010, 37(7). DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2010.07.025 |
| |
| Authors: | TANG Duo-chang LI Xiao-hong YUAN Chun-hua YANG Hong-dao LI Guo-qiang |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
