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| 8×8重排无阻塞型SOI热光波导开关阵列 | |
| 作者姓名： | 陈媛媛 余金中 |
| 作者单位： | [1]北京工商大学信息工程学院,北京100037 [2]中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室,北京100083 |
| 摘 要： | 设计并制作了一种重排无阻塞型的8×8SOI热光波导开关阵列。开关单元采用了MMI—MZI结构的2×2光开关。整个器件的开关时间约为2μs。器件中开关单元功耗小于240mw。消光比在17-22dB范围内变化。功耗和开关速度都明显优于SiO2基和聚合物基的开关阵列。 |
| 关 键 词： | 开关阵列 热光 SOI |
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