可控硅式磁控溅射靶极电源的研制

本文介绍的电源具有下垂特性的电流，电压负反馈双闭环系统，采用Ｐ－Ｉ调节，使电源系统具有良好的动态特性。引入了电流截止负反馈，解决靶极辉光放电问题。该电源与负载匹配能力强、体积小、集成度高、抗干扰能力强、调节方便。