| 一种基于TiO2纳米棒阵列的快速响应湿度传感器研究 |
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| 引用本文： | 杜鹏,陈向东,朱浩. 一种基于TiO2纳米棒阵列的快速响应湿度传感器研究[J]. 传感器与微系统, 2015, 0(9): 55-57. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2015)09-0055-03 |
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| 作者姓名： | 杜鹏 陈向东 朱浩 |
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| 作者单位： | 西南交通大学信息科学与技术学院,四川成都,611756 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放课题 |
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| 摘 要： | 通过水热法使TiO2纳米棒阵列直接生长在叉指电极之间,并制备成湿度传感器.纳米棒疏松多孔,直径大约20 nm,长度1μm.在相对湿度6％～97％RH的范围内传感器的电阻变化达3个数量级,感湿曲线的线性较好,湿滞较小.由于纳米棒生长方向一致,形成了许多有利于水分子进出的水汽通道,有效提高了传感器的响应特性,该传感器的响应时间为2s,恢复时间为6s.
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| 关 键 词： | TiO2纳米棒阵列 湿度传感器 水热法 叉指电极 响应时间 |
Study on a fast response humidity sensor based on TiO2 nanorod array |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TiO2 nanorod array humidity sensor hydrothermal method interdigital electrode response time |
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