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Ⅲ-V 族锑化物半导体材料
作者姓名:韦光宇  彭瑞伍
作者单位:中国科学院上海冶金研究所 上海(200050)
摘    要:本文总结了Ⅱ-Ⅴ族锑化物半导体材料的进展,其中包括生长的物理化学原理和主要工艺,介绍了主要的锑化物体单晶、薄膜和结构材料,并列举了它们的性质以及这些材料应用于光电器件方面的最新结果.

关 键 词:锑化物材料  物理化学  晶体生长  结构材料  激光器  探测器
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