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| 水热法制备PLZT多元铁电薄膜的研究 | |
| 引用本文： | 孙彤,孙平.水热法制备PLZT多元铁电薄膜的研究[J].真空科学与技术,2000,20(1):19-21. |
| 作者姓名： | 孙彤 孙平 |
| 作者单位： | 东南大学电子工程系 |
| 摘 要： | 研究了在水热条件下制备ＰＬＺＴ（８／６５／３５）多元铁电薄膜的优化工艺条件。讨论了反应温度，反应历程，反应时间等不同工艺条件对ＰＬＺＴ多元铁电薄膜结构、结晶取向的影响。结果表明，采用两步法合成工艺能够在Ｔｉ基片上制备出纯钙钛矿相结构，粒径为１μｍ，薄膜厚度为５μｍ介电数为ε＝４５０的ＰＬＺＴ（８／６５／３５）多元铁电薄膜。 |
| 关 键 词： | 水热法 锆钛酸铅 铁电薄膜 结构 结晶状态 |
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