水热法制备PLZT多元铁电薄膜的研究

研究了在水热条件下制备ＰＬＺＴ（８／６５／３５）多元铁电薄膜的优化工艺条件。讨论了反应温度，反应历程，反应时间等不同工艺条件对ＰＬＺＴ多元铁电薄膜结构、结晶取向的影响。结果表明，采用两步法合成工艺能够在Ｔｉ基片上制备出纯钙钛矿相结构，粒径为１μｍ，薄膜厚度为５μｍ介电数为ε＝４５０的ＰＬＺＴ（８／６５／３５）多元铁电薄膜。