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| 扩展电阻探针在器件开发和失效分析中的应用 | |
| 引用本文： | 吴晓虹,闵靖.扩展电阻探针在器件开发和失效分析中的应用[J].上海计量测试,1999,26(6):45-46. |
| 作者姓名： | 吴晓虹 闵靖 |
| 作者单位： | 上海市计量测试技术研究院 |
| 摘 要： | 本文介绍了使用扩展电阻探针，通过测试硅外延片、器件芯片和集成电路特定区域的纵向杂质分布，从而用以器件开发、工艺调控和失效分析。 |
| 关 键 词： | 半导体器件 产品开发 失效分析 扩展电阻探针 集成电路 芯片 硅外延片 工艺调控 |
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