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| 日原研等开发微粒检测装置 | |
| 引用本文： | 李韡.日原研等开发微粒检测装置[J].国外核新闻,2003(12). |
| 作者姓名： | 李韡 |
| 摘 要： | 【日本原子能研究所网站2003年月27日报道】日本原子能研究所与新日本空调株式会社通过应用日原研大气中微粒可视化计数技术,联合开发出了工业清洁室等室内微粒的检测装置。随着半导体、液晶器件的高度集成化以及超精密技术与生物技术的发展,对清洁室的要求越来越高,于是面向这些高精密产品制造与研究的、要求大气中微粒含量降低到极限的超清洁室问世。而要很好地管理这些超清洁室,确保其高水平的清洁度,就必须具备能够高精度地实时测量和分析室内微粒浓度及粒子半径的高精密检测技术。该检测装置应用的激光检测大气微粒的远距离可视化检测… |
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