| 超硬多层薄膜的研究现状及展望 |
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| 引用本文： | 宋绪丁,李宁.超硬多层薄膜的研究现状及展望[J].表面技术,2005,34(3):5-8,12. |
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| 作者姓名： | 宋绪丁 李宁 |
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| 作者单位： | 长安大学工程机械学院,陕西,西安,710064 |
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| 摘 要： | 由于超硬多层薄膜的性能随调制周期的变化而发生变化,在某一范围出现超硬等异常效应.其潜在的实际应用价值及理论意义,使其成为近年来人们研究的热点.本文综述了近年来国内外超硬多层薄膜的研究结果,介绍了其分类、主要性能特点以及制备工艺,并对超硬多层薄膜以后的发展趋势进行了展望.
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| 关 键 词： | 超硬多层薄膜 超晶格薄膜 纳米多层膜 类金刚石 超硬多层薄膜 研究现状及展望 Thin Films Prospects Status 趋势 发展 制备工艺 分类 结果 热点 意义 理论 价值 应用 异常效应 范围 发生 变化 调制周期 |
| 文章编号： | 1001-3660(2005)03-0005-04 |
Research Status and Prospects of Super-hard Multi-layer Thin Films |
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| SONG Xu-ding,LI Ning.Research Status and Prospects of Super-hard Multi-layer Thin Films[J].Surface Technology,2005,34(3):5-8,12. |
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| Authors: | SONG Xu-ding LI Ning |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Super-hard multi-layer thin films Super-lattice films Nano-multilayer films Diamond-like carbon |
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