| 误差因素对微角度传感器性能的影响 |
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| 引用本文： | 刘庆纲,李志刚,李德春,胡小唐. 误差因素对微角度传感器性能的影响[J]. 光电子．激光, 2003, 14(4): 355-358,362 |
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| 作者姓名： | 刘庆纲 李志刚 李德春 胡小唐 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 天津市自然科学基金资助项目(013602111)，教育部南开大学天津大学科技合作资助项目 |
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| 摘 要： | 叙述了一种基于光学内反射的非接触式角度传感器的设计原理和特点,分析了该角度传感器的关键器件临界角棱镜的参数设计,着重讨论了临界角棱镜的加工误差对系统特性的影响。通过计算和实验发现,通过控制临界角棱镜的入射中心角误差不大于20",两平行反射表面的一致不平行度误差小于30",以及反射表面的平面度优于λ/4可以使该传感器在3 测量范围内获得0.02"的分辨率。
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| 关 键 词： | 光学内反射 角度传感器 临界角棱镜 非线性误差 加工误差 |
| 文章编号： | 1005-0086(2003)04-0355-04 |
The Influence of Error Factors to a Micro-angle Sensor System |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | angle sensor internal-reflection critical angle prism nonlinearity |
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