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| 微电子机械加工研究 | |
| 引用本文： | 蒋世祥,朱世强,黄文胜.微电子机械加工研究[J].微电子技术,2001,29(2):3-7. |
| 作者姓名： | 蒋世祥 朱世强 黄文胜 |
| 作者单位： | 1. 浙江省水利水电专科学院, 2. 浙江大学机械电子控制工程研究所, 3. 浙江国际商会实业有限责任公司, |
| 基金项目： | 该项目获浙江省自然科学基金资助(资助号599019) |
| 摘 要： | 本文介绍了微电子机械制造工艺的基本要求，尺寸极限，并且设计了一个3D集成式微结构制造系统。该系统是在旋转工作台面上，用快速中子原子束刻蚀来实现3D成形。 |
| 关 键 词： | 微电子机械制造 原子束刻蚀 微结构制造系统 |
| 文章编号： | 1008-0147(2001)02-03-05 |
| 修稿时间： | 2000年11月3日 |
Research on Microelectron-Mechanical System and Its Application |
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| Jiang Shi-xiang,ZHU Shi-qiang,Huang Wen-sheng.Research on Microelectron-Mechanical System and Its Application[J].Microelectronic Technology,2001,29(2):3-7. | |
| Authors: | Jiang Shi-xiang ZHU Shi-qiang Huang Wen-sheng |
| Affiliation: | JIANG Shi-xiang 1,ZHU Shi-qiang 2,HUANG Wen-sheng 3 |
| Abstract: | Theoretical and technical basis of MEMS are introduced.Future application of microelectron-machine to space,medicine,national defense and industries are listed in this paper. |
| Keywords: | Microelectron-machine Application of micromachine Bionics Fast atom beam |
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