| 隧道式纳米级轮廓仪的研究 |
| |
| 引用本文： | 李文菊,张鸿海,曹伟,师汉民.隧道式纳米级轮廓仪的研究[J].制造技术与机床,1996(12):15-17. |
| |
| 作者姓名： | 李文菊 张鸿海 曹伟 师汉民 |
| |
| 作者单位： | 华中理工大学，武汉喻家山华中理工大学机械科学与工程学院 |
| |
| 摘 要： | 介绍两种结构形式的基于电子隧道效应的纳米级三维轮廓仪。其纵向分辨率可达０．０２ｎｍ，横向分辨率可达０．２ｎｍ，扫描范围分别为４０μｍ×４０μｍ和１４μｍ×１４０μｍ。可直接对φ５０ｍｍ和φ１３０ｍｍ的大尺寸样品表面进行纳米级的超微观形貌检测与分析。文中给出了一些超精表面的超微观形貌测量的结果。
|
| 关 键 词： | 超精密测量，纳米级形貌，隧道效应，三维轮廓仪 |
Three Dimensional Profilers Based on the TunnelingEffect with Nanometer Scale Resolution |
| |
| Li Wenju,et al..Three Dimensional Profilers Based on the TunnelingEffect with Nanometer Scale Resolution[J].Manufacturing Technology & Machine Tool,1996(12):15-17. |
| |
| Authors: | Li Wenju |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Superprecision Measurement Nan-ography Tunneling Effect |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
