微型振动陀螺仪

用Ｓｉ表面微机械加工技术制作了一种具有４００μｍ＊８００μｍ薄多晶硅谐振器的振动微型陀螺仪。它螺仪受静电力的作用进行横向驱动，并检测振器与衬底之间容变化的输出信号。