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提高GaAs晶体质量的一种重要手段
作者姓名:
宋群厚
摘 要:
在CZ法晶体生长工艺中引入磁场是一门新技术,它使得生长高质量大直径单晶成为可能。本文介绍了纵向磁场和横向磁场对GaAs晶体质量的影响,重点介绍了对熔体中的温度波动、晶体中的生长条纹、EL2和电阻率分布等的影响。
关 键 词:
磁场 单晶 均匀性 砷化镓
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