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硅基微型系统的应用
作者姓名:
李静
摘 要:
简单综述了微机械技术的先进性,该技术包括表面和本体硅微机械,电沉积和键合技术。给出了许多躲开系统设计,生产和应用的实例,并对以下微型系统2分别进行了详细介绍:(1)小型化化学分析系统;(2)空间研究用的微型仪器;(3)小型流体控制系统;(4)扫描探针系统;(5)静电和超声波微电机;(6)躲开光-机械系统。
关 键 词:
IC 集成电路 微机械技术 硅基微型系统
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