硅基微型系统的应用

简单综述了微机械技术的先进性，该技术包括表面和本体硅微机械，电沉积和键合技术。给出了许多躲开系统设计，生产和应用的实例，并对以下微型系统２分别进行了详细介绍：（１）小型化化学分析系统；（２）空间研究用的微型仪器；（３）小型流体控制系统；（４）扫描探针系统；（５）静电和超声波微电机；（６）躲开光－机械系统。