首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     

AUEL—Ⅲ型自动椭偏仪
引用本文:罗晋生.AUEL—Ⅲ型自动椭偏仪[J].LSI制造与测试,1996,17(6):22-25.
作者姓名:罗晋生
摘    要:本文介绍了我们研制成功的实用化的EL-Ⅲ型自动椭偏仪,经专家鉴定和用户使用证明本仪器的实用化和实用化和商品化程度高,功能和技术指标与国外同类产品相当,达到国际先进水平。

关 键 词:自动椭偏仪  半导体集成电路  测量
本文献已被 维普 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号