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AUEL—Ⅲ型自动椭偏仪
作者姓名:罗晋生
摘    要:本文介绍了我们研制成功的实用化的EL-Ⅲ型自动椭偏仪,经专家鉴定和用户使用证明本仪器的实用化和实用化和商品化程度高,功能和技术指标与国外同类产品相当,达到国际先进水平。

关 键 词:自动椭偏仪 半导体集成电路 测量
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