苯丁光致抗蚀干膜的改性

讨论了用丙烯酸酯改性的成膜树脂组分及各组分的相对比例、溶剂、分子量调节剂、加料方式等对成膜树脂分子量及干膜性能的影响。试验结果表明改性改善了市售苯丁抗蚀干膜的性能。