| 硬脂酸质子交换X切LiNbO3光波导的制备技术研究 |
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| 引用本文： | 陈硕,刘占元,刘鹏飞,陈开鑫. 硬脂酸质子交换X切LiNbO3光波导的制备技术研究[J]. 半导体光电, 2014, 35(1): 65-68,148 |
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| 作者姓名： | 陈硕 刘占元 刘鹏飞 陈开鑫 |
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| 作者单位： | 国网智能电网研究院, 北京 100192;国网智能电网研究院, 北京 100192;电子科技大学 通信与信息工程学院, 成都 611731;电子科技大学 通信与信息工程学院, 成都 611731 |
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| 摘 要： | 利用无毒、无腐蚀性的硬脂酸作为交换质子源,研究了在X切LiNbO3晶片上制作单模条形光波导的工艺技术。通过对平板光波导的交换及退火特性的研究,确定了获得单模条形光波导的工艺参数,制作并测试了条宽不等的X切Y传LiNbO3单模条形光波导。结果表明该工艺条件下制作的条宽为6μm的单模波导实现了小于1dB/cm的传输损耗,为采用硬脂酸作为交换质子源研制X切Y传LiNbO3集成光波导器件奠定了基础。
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| 关 键 词： | 光波导 质子交换 硬脂酸 铌酸锂 |
| 收稿时间： | 2013-06-06 |
Fabrication of Proton-exchanged X-cut LiNbO3 Optical Waveguide Using Stearic Acid |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optical waveguide proton exchange stearic acid lithium niobate |
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