| 利用五帧相移算法进行纳米台阶高度的表征 |
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| 引用本文： | 郭彤,胡春光,陈津平,傅星,胡小唐.利用五帧相移算法进行纳米台阶高度的表征[J].计量学报,2007,28(4):302-305. |
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| 作者姓名： | 郭彤 胡春光 陈津平 傅星 胡小唐 |
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| 作者单位： | 天津大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)
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高等学校博士学科点专项科研项目
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国家重点实验室基金 |
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| 摘 要： | 描述了一种用于纳米级台阶高度表征的相移显微干涉测量方法，它被广泛用于高精度的表面测量上。系统采用集成了高分辨力（0．7nm）电容传感器的纳米定位器实现移相、健壮的Hariharan五帧相移算法，利用ISO5436—1：2000国际标准对纳米台阶高度结构进行了评价。结果表明，该方法具有无损、快速和易于在晶片上进行的特点。系统测量的精度在纳米量级，重复性在亚纳米量级。
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| 关 键 词： | 计量学 纳米计量 台阶标准 相移干涉术 Hariharan算法 软件调平 |
| 文章编号： | 1000-1158(2007)04-0302-04 |
| 修稿时间： | 2006年10月24 |
Five-frame Phase-shifting Algorithm for Nanoscale Step Characterization |
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| GUO Tong,HU Chun-guang,CHEN Jin-ping,FU Xing,HU Xiao-tang.Five-frame Phase-shifting Algorithm for Nanoscale Step Characterization[J].Acta Metrologica Sinica,2007,28(4):302-305. |
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| Authors: | GUO Tong HU Chun-guang CHEN Jin-ping FU Xing HU Xiao-tang |
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| Abstract: | The phase-shifting microscopic interferometry used in the nanoscale step characterization,which is a popular method in the high accuracy surface measurement,is described.The system employs a nanoscale phase shifter integrated with a high resolution capacitive sensor(0.7 nm) and robust Hariharan five-frame phase shifting algorithm.The international standard ISO 5436-1:2000 is used to evaluate the nanoscale step height.The experimental results show that this method is quick,non-destructive,and easy to carry out at the wafer scale with nanometer accuracy and sub-nanometer repeatability. |
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| Keywords: | Metrology Nano-metrology Step standard Phaseshifting interferometry Hariharan algorithm Software leveling |
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