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500V0.5A VDMOS功率器件的设计与工艺

引用本文：	张坚,邵建新.500V0.5A VDMOS功率器件的设计与工艺[J].江南半导体通讯,1992,20(4):54-59.

作者姓名：	张坚邵建新

摘要：
关键词：	VDMOS 功率器件设计工艺
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