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氢敏晶体管通过科研成果鉴定
引用本文:微电子学研究室.氢敏晶体管通过科研成果鉴定[J].北京工业大学学报,1984,10(1):72-72.
作者姓名:微电子学研究室
作者单位:北京工业大学微电子学研究室
摘    要:钯栅金属-氧化物-半导体场效应晶体管(Pd-MOSFET)是国际正在研究的-种高选择性氢敏器件,可以用于氢气报瞥、探漏、监测及测量等,在宇航、军事、化工、电子、电力、冶金、通讯等各部门具有广泛的用途。

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