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| 离子束溅射沉积Al2O3纳米薄膜AFM及XPS分析 | |
| 引用本文： | 王铁宝,王晓东,刘强安,何丽静.离子束溅射沉积Al2O3纳米薄膜AFM及XPS分析[J].河北工业大学学报,2011,40(2):32-36. |
| 作者姓名： | 王铁宝 王晓东 刘强安 何丽静 |
| 作者单位： | 1. 河北工业大学,材料科学与工程学院,天津,300130 2. 河北省安装工程公司第二分公司,唐山,063000 3. 扎努西电气机械天津压缩机有限公司,天津,300308 |
| 摘 要： | 在单晶Si基片用离子束溅射沉积法制备了1～100nm的Al2O3纳米薄膜.利用原子力显微镜分析和研究了不同厚度Al2O3纳米薄膜的表面形貌,并用X射线光电子能谱(XPS)仪和X射线衍射仪分别对100 nm的Al2O3纳米薄膜表面结构和成分进行了表征,结果表明:薄膜厚度在1～50 nm范围时,颗粒形态随着薄膜厚度的变化逐... |
| 关 键 词： | 纳米薄膜 Al2O3 离子束沉积 掠入射衍射 X射线衍射 |
Analysis of AFM and XPS on Al2O3 nano-films prepared by ion beam sputtering deposition |
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| WANG Tie-bao,WANG Xiao-dong,LIU Qiang-an,HE Li-jing.Analysis of AFM and XPS on Al2O3 nano-films prepared by ion beam sputtering deposition[J].Journal of Hebei University of Technology,2011,40(2):32-36. | |
| Authors: | WANG Tie-bao WANG Xiao-dong LIU Qiang-an HE Li-jing |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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