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| 光能量积分器原理及应用 | |
| 引用本文： | 宋健.光能量积分器原理及应用[J].半导体技术,1985(3). |
| 作者姓名： | 宋健 |
| 摘 要： | 光能量积分器是一种较新型的控制曝光时间的定时器,在国外已被用于光刻机上,象日本Canon公司PLA-500F型接触式自动对准光刻机等系列产品均采用了此项技术.近年来在国内也逐渐地得到了应用,象清华大学研制的ZGK-50型投影自动对准光刻机也采用了此项技术.由于此项技术在国内外有关文献上较详细的分析文章所见不多,本文从理论和应用这两方面对这项技术进行了较详细的分析,从而使读者有一较深入的了解. |
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