| 磁控反应溅射氧流量变化对TiO2薄膜影响的实验研究 |
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| 引用本文： | 常学森,巴德纯,闻立时,刘坤.磁控反应溅射氧流量变化对TiO2薄膜影响的实验研究[J].真空与低温,2007,13(3):163-167. |
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| 作者姓名： | 常学森 巴德纯 闻立时 刘坤 |
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| 作者单位： | 1. 东北大学,真空与流体工程研究中心,辽宁,沈阳,110004
2. 中国科学院,金属研究所,辽宁,沈阳,110015 |
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| 摘 要： | 通过中频交流磁控溅射设备,利用金属Ti靶制备出了有一定厚度的、质量较好的TiO2薄膜,TiO2薄膜被沉积在玻璃基底上.利用各种分析测试手段对其性能进行了测试,初步探讨了不同氧流量对TiO2薄膜的影响.实验表明,不同氧流量下制备的TiO2薄膜的亲水特性发生了变化.
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| 关 键 词： | 纳米二氧化钛 薄膜 光电效应 亲水性 磁控溅射 |
| 文章编号： | 1006-7086(2007)03-0163-05 |
| 修稿时间： | 2006年11月13 |
EXPERIMENT RESEARCH OF OXYGEN FLUX EFFECT ON TITANIUM DIOXIDE FILMS BY REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING |
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| CHANG Xue-sen,BA De-chun,WEN Li-shi,LIU Kun.EXPERIMENT RESEARCH OF OXYGEN FLUX EFFECT ON TITANIUM DIOXIDE FILMS BY REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING[J].Vacuum and Cryogenics,2007,13(3):163-167. |
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| Authors: | CHANG Xue-sen BA De-chun WEN Li-shi LIU Kun |
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