微型双气体红外传感器的设计与实现 |
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引用本文: | 张,昊,崔永俊,刘,玮.微型双气体红外传感器的设计与实现[J].传感器与微系统,2014(7):103-105. |
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作者姓名: | 张 昊 崔永俊 刘 玮 |
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作者单位: | 中北大学电子测试技术国家重点实验室;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室; |
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基金项目: | 国家“863”计划资助项目(62006AA040101) |
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摘 要: | 基于朗伯—比尔吸收定律,利用非分光探测技术设计了双气体红外传感器。设计的红外传感器可以检测CH4和CO2。重点介绍了稳定性好、灵敏度高的反射式气室的设计。该气室对红外光源和红外探测器的位置进行了合理的布局,实现了传感器的微型化设计。经过测试,在CH4和CO2气体体积分数较低的范围内,反射式气室红外传感器的最大测量误差仅为±0.05%。
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关 键 词: | 朗伯—比尔吸收定律 双气体 反射式气室 红外传感器 |
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