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| 磁控溅射不同元素掺杂WS2薄膜的组织和纳米压痕力学性能 | |
| 作者姓名： | 贺江涛 蔡海潮 薛玉君 杨芳 马喜强 |
| 作者单位： | 河南科技大学机电工程学院,洛阳471003;河南科技大学河南省机械设计及传动系统重点实验室,洛阳471003;河南科技大学机电工程学院,洛阳471003;洛阳轴承研究所有限公司,洛阳471039;河南科技大学河南省机械设计及传动系统重点实验室,洛阳471003 |
| 基金项目： | 河南省科技攻关计划;国防基础科研项目 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 磁控溅射 WS2薄膜 镧掺杂 晶粒尺寸 纳米压痕力学性能 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |