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| 纳米压痕有缺陷单晶硅的分子动力学分析 | |
| 作者姓名： | 胡洋 戴厚富 周玉琪 岳海霞 |
| 摘 要： | 为了研究单晶硅中纳米裂纹对加工过程的影响,建立了单晶硅纳米压痕的分子动力学模型.在该研究中,分析了不同压痕速度对单晶硅中纳米裂纹演化的影响.对纳米压痕工艺、温度变化、势能变化、加载力、裂纹扩展、配位数等进行了深入的研究.研究结果表明,工件中的纳米裂纹在加载过程中有愈合的趋势;压头加载速度越大,工件纳米压痕区温度越高,势... |
| 关 键 词： | 分子动力学 纳米裂纹 纳米压痕 |
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