| SOI技术的机遇和挑战 |
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| 引用本文： | 徐文华,张天义,汪红梅,张兴. SOI技术的机遇和挑战[J]. 电子器件, 2001, 24(1): 72-78 |
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| 作者姓名： | 徐文华 张天义 汪红梅 张兴 |
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| 作者单位： | 北京大学微电子学研究所. |
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| 摘 要： | 本文较为系统地描述了SOI技术的特点，分析了SOI技术中存在的问题和发展的潜力，最后得出了SOI技术将在特征尺寸小于0．1um，电源电压小于1V的新一代集成电路技术中得到了广泛应用。
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| 关 键 词： | SOI技术 CMOS 集成电路 |
| 文章编号： | 1005-9490(2001)01-0072-07 |
| 修稿时间： | 2000-11-22 |
The Opportunity and Challenge of SOI Technology |
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| Xu Wenhua,ZHANG Tianyi,WONG Hongmei,ZHANG Xing. The Opportunity and Challenge of SOI Technology[J]. Journal of Electron Devices, 2001, 24(1): 72-78 |
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| Authors: | Xu Wenhua ZHANG Tianyi WONG Hongmei ZHANG Xing |
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| Abstract: | The potential advantages and shortcomings of SOI technology wer discussed in detail in this paper. The trends of developing CMOS/SOI integrated circuits and SOI materials are presented also. At last, the conclusion which the CMOS/SOI technology will become the main technology of IC when the dimension is smaller than 0.1 micron and the supply voltage is lower than 1 voltage is given. |
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| Keywords: | SOI technology CMOS integrated circuits |
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