| 溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡薄膜 |
| |
| 引用本文： | 张五星,徐重阳,王长安,赵伯芳. 溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡薄膜[J]. 压电与声光, 2003, 25(1): 58-60 |
| |
| 作者姓名： | 张五星 徐重阳 王长安 赵伯芳 |
| |
| 作者单位： | 华中科技大学,电子科学与技术系,武汉,430074 |
| |
| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备钛酸锶钡(BST)薄膜,采用快速热处理(RTA)对薄膜进行烧结。利用DSC、XRD、SEM等技术分析了钛酸锶钡凝胶的热解过程,以及不同溶胶浓度下薄膜的晶粒、晶相、介温特性。实验表明:低浓度的溶胶(0.05mol/L)所制备的薄膜具有较大的介电反常,其晶相具有(111)取向性;而用0.3mol/L的溶胶制备的BST薄膜,晶粒没有(111)取向;用0.05mol/L溶胶制备,使BST薄膜的介温特性得到很大的改善,介温变化率dε(ε·dT)在11°C左右可达6%。
|
| 关 键 词： | 薄膜 溶胶－凝胶 钛酸锶钡 快速热处理 介电常数 |
| 文章编号： | 1004-2474(2003)01-0058-03 |
| 修稿时间： | 2002-01-18 |
Preparation of BST Films by Sol-Gel Method |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Sol-Gel Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3 RTA dielectric constant |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
