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半导体装置用筒式气体纯化器

作者姓名：	李懋英

作者单位：	化工部西南化工研究院

摘要：	日本Pionix公司开发了一种生产半导体用的超高纯特气纯化器。该装置将安装在半导体装置上。它可以从特气中脱除杂质水份和灰尘。该装置安装在气瓶与半导体生产设备连接的管道上,
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