半导体的激光退火

对半导体元件的激光退火虽然进行了认真的研究，但还没有使此项技术用到任何生产线上。不过，已导致器件样机的制作，并对它的基础物理学有较多的了解。进一步进展可能导向制作半导体的新途径，使用激光退火消除在掺杂和晶体生长期间产生的缺陷。